变压吸附制氧已经被广泛推广和应用。特别是在今天国家对产业经济下决心宏观调控的大气候下，企业要生存要发展，就要节约能耗、降低成本。而变压吸附制氧在节省总体投资、减少占地面积、节约能耗、降低成本上有他独特的优势。八十年代以来，随着变压吸附制富氧技术的成熟，在无须高纯氧气的场合，变压吸附法已成为世界上获取低成本氧气的主要方法。国内变压吸附制氧的发展，虽然起步晚，但发展速度却很快，短短的时间已经完成了装置从小型化到大型化的发展，并且技术成熟、稳定、先进。随着新型高效变压吸附制氧分子筛吸附剂的研制成功和国外新型吸附剂的引进，使国产变压吸附制氧装置的能耗指标达到了≤0.35kwh/ m，接近和达到了国外先进装置的水平。国内已经先后有上百套变压吸附VPSA制氧装置投产使用或在签约制造中，设计和制造能力也已达到35000m/h纯氧，纯度≥90%。已经成功运行的最大装置12000NM/hO2，能耗是0.35KWh/ MO2，运行平稳可靠，并可变工况调节运行，如产量（大中型装置）可做多工况调量运行、纯度可在65%∽93%之间调整，并且产量调量运行时能耗基本不增加。
变压吸附制氧分高压吸附常压解吸（PSA）和常压吸附真空解吸（VSA）及低压吸附真空解吸（VPSA）三种工艺流程。其实三种工艺流程只是操作压力稍有差异，本质都是一样的。而低压吸附真空解吸的VPSA流程能耗标准又是最低的，并且装置稳定、可靠、经济、工艺先进，代表着PSA发展的趋势，所以现在采用的和通常所说的变压吸附制氧装置一般都是VPSA装置。昆山锦程气体推荐和采用的也是这种VPSA装置。
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